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¡¡¡¡½ØÖ¹2020ÄêÄ©£¬ASMLµÄEUVÖÐÓÐ90£¥Á㲿¼þÀ´×Ô½ø¿Ú£¬¶øÇÒ¸ù¾ÝASML¼ÓÈëEUV¡¡LLCÁªÃ˵ijÐŵ£¬Ã×¹úÁ㲿¼þÐèÕ¼±È55£¥ÒÔÉÏ¡£
¡¡¡¡Ò²²»ÊÇASMLÕâ¼Ò¹«Ë¾µÄÀÏ°å²»µ±ÈË£¬¶øÊÇEUV¹â¿Ì¼¼Êõ×Ô³öÉú¾ÍÈ˼ҴÓ×ʱ¾ºÍ¼¼Êõ²ãÃæÈ«ÃæÕÆ¿Ø×Å¡£
¡¡¡¡ÉÌÒµ¾ºÕùÎÞËù²»ÓÃÆ伫£¬¶ÔÓÚ¼â¶Ë¼¼ÊõµÄ±£»¤£¬´ÓÒ»¿ªÊ¼¾ÍÒѾ­×öµ½ÁËÑÏ·ÀËÀÊØ¡£
¡¡¡¡´ÓÇ°ÊÀÃ×¹ú½ü20ÄêÔÚEUV¹â¿Ì¼¼ÊõÁìÓòµÄ²¼¾Ö¾Í¿ÉÒÔ¿´³ö£¬ÕûºÏ²úÒµÉÏÏÂÓεÄÖØÒªÐÔ¡£
¡¡¡¡¶øÕûºÏ²úÒµÉÏÏÂÓÎÆóÒµ¹²Í¬Ñз¢£¬Ò»ÊÇÐèÒªÁìÍ·ÑòÆóÒµ£¬¶þÊÇÐèÒª´óÁ¿µÄ×ʽð¡£
¡¡¡¡¶þÕßȱһ²»¿É£¬Ô¶²»ÊÇÏñ´óÖÚÈÏΪµÄÄÇÑù£¬ËÀ¶¢×Å¡¸ÖÐо¹ú¼Ê¡¹¾Í¿ÉÒÔ¡£¶øÕâÒ»µã£¬¹úÄںܶàÈËÖ±µ½Ê®¼¸Äêºó²ÅÀí½â¡£
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